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Edwards宣布iXH新一代干泵销售量突破1000大关

全球真空和尾气处理设备和服务的主要供应商Edwards近日宣布,自2008年2月推出以来短短一年时间已经向半导体太阳能制造商售出1000套应用于苛刻工艺的iXH新一代干式真空泵。

 “太阳能和新半导体制造工艺(如砷化镓化合物半导体)要求能够处理大流量氢气的真空技术,”Edwards公司的CEO尼格尔-汉顿(Nigel Hunton)说,“iXH系列干泵是为解决这些难题而特别设计的,它拥有更长的使用寿命和更低的动力消耗从而减少了运行成本。iXH真空泵在业界的迅速推广证明了它能成功应对这些挑战。”

  氢气是一种难以抽取的气体,因为它分子量小,粘度低。iXH真空泵系统采用一系列具有高抽气速率的干式泵和增压泵以达到*佳的压缩比,从而实现高效率地抽取氢气。该系统为模块化设计,可灵活配置,因此易于满足各种太阳能和半导体制造工艺中的现场安装和性能要求。部件可以上下堆叠,从而达到业内**的占地面积。各种型号的 iXH真空泵可针对具体应用要求灵活配置,并且由单个控制器进行管理,对操作人员而言这是一种简单易用、可无缝集成的真空系统。

  与Edwards上一代真空泵相比,用于苛刻工艺的iXH干式真空泵系列具有更大的处理能力和较低的运行成本(CoO)。运行成本的下降是通过能耗下降10%、维修间隔延长以及意外停机时间减少而实现的。产品操作温度范围广(有助于降低副产物的沉积),粉末处理能力显著增强,并采用独特的气体分配技术以及一种延长工艺寿命并减少泄漏危险的创新的真空泵密封技术。


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