Edwards新推出iXH500H系列干泵

真空和尾气处理设备及服务供应商Edwards公司扩展其广受欢迎的应用于严苛工艺的iXH产品系列，新推出iXH500H系列干泵。新的500m3/h干泵系列针对需要较高气体流量和灵活泵温范围的平板显示器、太阳能和半导体工艺而优化，具有较低的能耗和较长的平均维护间隔时间(mean time between servicing， MTBS)，从而降低了成本，同时具备iXH450系列的小占位面积和氢气抽取能力。

Edwards平板显示器(FPD)和太阳能部门干泵产品经理Allister Watson博士表示：“iXH家族的新增系列设计用于应对平板显示器、太阳能和半导体工艺中遇到的不同抽取挑战，能够延长泵的平均维护间隔时间。迄今为止，行业缺乏具有应对这些不同挑战灵活性的一体化严苛工艺干泵。而iXH500H系列具有更灵活地泵温控制，能够满足这一需求，同时减少多达15%的能耗。因而相比上一代iXH干泵，iXH500H的成本降低了30%。”

平板显示器、太阳能和半导体制造商使用的真空泵必须适应的工作条件和材料。iXH500H系列具有温度灵活性，因而适用于这类严苛工艺。iXH500H系列在低泵温下运行，有益于使用高流量腐蚀性气体的工艺(例如，FPD PECVD、薄膜太阳能PECVD、半导体MOCVD)，或使用热敏前体（pre-cursor）(例如原子层沉积)能够在泵内沉淀副产物的工艺。在有副产品物在泵内冷凝风险(例如高k电介质沉积)的场合，可以选择高工作温度的泵。

Edwards现可提供iXH500H系列干泵，并提供从现有的iXH450系列转换至iXH500H系列的服务。