无油涡旋真空泵

一、引言 

      涡旋的概念相当久远，20世纪初上就已经有了涡旋的。但由于当时水平的限制，涡旋机构制造不出来，涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被重新提起并制造出台模型机构，使这项实际应用成为可能。涡旋机构的可性高、运行平稳、噪音极低、节省能源等潜力和优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求，大受行业者青睐，迅速被投入工业化应用。Trance、Hitachi、Copland等公司的涡旋压缩机与产品**了涡旋实用化的浪潮，带动了如冰箱、空调等诸多行业的进步和产品的更新。 

      今天涡旋已经由初期的应用在压缩机行业推广到真空泵制造业，实现了全无油、运行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得的实用化。人们应用涡旋概念与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染,并且抽速、寿命、能耗等指标均普通油泵的单级、双级无油涡旋真空泵系列产品。 

      上个世纪90年代初，上首台涡旋真空泵推向市场，涡旋由此开始作为一种真空获得在范围内被推广应用。到目前为止，上涡旋真空泵的生产厂家集中在、和欧洲，以的Anestta、的Varian、的Busch等为代表。产品包括了自0.25L/S到10L/S系列产品，有些15L/S或更大抽气量的产品也在试验阶段。 

二、无油涡旋真空泵的特点与应用 

      清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境.自能够创造真空环境开始,人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果.时至今日,清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品.在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有下述特点: 

①.无油，无摩擦——真空腔内无油，非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空；
②.抽气量大——双涡旋盘，结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源； 
③.抽气效率高——带有3-4个抽气单元，压差小；大气与真空之间由O型圈密封，泄漏低； 
④.非接触,良好平衡,力矩影响小，噪音低，振动小； 
⑤.结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳； 
⑥.体积小，维修方便，维护费用低； 
⑦.采用空气冷却，无需水冷。 

目前无油涡旋真空泵的应用为: 

①.半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备； 
②.科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器； 
③.机械设备行业——材料制备设备、真空检测、材料提纯设备； 
④.化学工业； 
⑤．医疗设备——牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备； 
⑥．包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

      为解决我国科学研究和新材料、半导体等行业发展面临的手段存在的基础、共性问题，近年来已经不断有业内专家向介绍涡旋无油真空泵及其发展现状，涡旋无油真空泵生产厂家与代理对市场的使其在市场的销量在逐年增长。真空行业相关企业也开展了基础、应用研究及小规模试制无油涡旋真空泵生产等不同阶段的探索，只是由于基础、激励机制、手段、资金投入的限制，工作进展不是快。产量、稳定可性、以及推广与市场开拓规划、原则、手段等也是问题。因此无油涡旋真空泵系列产品下一步产业化与市场是企业必须解决的两大问题。随着手段、资金投入、市场开拓问题的解决，无油涡旋真空泵将会打开市场，从而提高整个真空获得行业的水平。成功的无油涡旋真空泵系列产品与市场模式也将为我国其他清洁真空获得设备如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供的借鉴。