真空泵市场各类泵设备发展现状
真空泵是一个量大面广的产品，目前产量很大，产值不高，但它确实是一个直接影响到真空成套设备性能质量的必不可少的基础产品。
高/真空——低温泵、分子泵、溅射离子泵、钛升华泵、扩散泵。
中真空——干泵、涡旋泵、双级旋片泵、罗茨泵、油增压泵、水蒸气喷射泵。
粗/低真空——单级旋片泵、滑阀泵、液环泵、往复式真空泵。
真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。
市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用的日益扩大。目前，全球真空泵市场的年销售额约20亿美元，年增长率在7%左右。
我国现有生产真空泵的厂家很多，真空泵的年销售额大约在1.5亿元左右，仅相当于Kinney（凯尼）公司一家真空泵的年销售额。
通过对全球真空泵市场的分析我们可以看出，各类真空泵的市场及应用都在不断变化和发展。我国真空泵制造业有着悠久的历史和雄厚的基础，真空泵已经在各个不同得到应用并经过验证，有些泵还，得到用户的并受到，应该说我国真空泵制造业在市场仍然有着的发展空间。
1.水环真空泵虽然水环真空泵属于粗真空泵，但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等仍然有着很大的市场。在，水环泵的销售额占真空泵市场的14%，仅次于干泵，所以厂商都在我国投资建厂或建立销售网络，不断扩大在我国的市场份额。由于水环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以水环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。
2.滑阀泵是油封式真空泵的一种。由于滑阀泵比较耐用、，真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以各真空厂都在寻找合作伙伴。为了使滑阀泵能够进入市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的性。
3.直联旋片泵随着真空在各个应用的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的真空厂商在建立厂。中小型直联旋片泵在上已经，价格又远比的泵便宜，所以泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，直联泵在高速、高温下性能稳定和运行，同时还要进一步提高直联旋片泵抽除水蒸气的能力。
4.罗茨真空泵从罗茨真空泵生产情况来看，几家大公司罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没过5%，罗茨泵产量不大，但罗茨泵的价格远比泵要高得多。目前，大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以罗茨泵一定要在占领市场基础上设法进入市场，这样就必须进一步降低罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的性。
5.分子泵在半导体里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。
6.干式机械真空泵干式机械真空泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在，半导体行业已用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用和不同工况的要求，有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡旋式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从0.03m3/h～500m3/h。据统计，目前干泵的应用还不足1%，半导体工业用的干泵从，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究干泵，是涡旋式无油干泵，使干泵成为我国真空工业新的增长点。
