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为什么颗粒沉积会损坏涡轮分子泵
日期：2026-08-17 19:42
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摘要：涡轮分子泵（TMP）直接装配于工艺腔体内部，工艺副产物不断撞击叶轮叶片，易造成转子受损，进而导致晶圆或基板上颗粒物数量超标。情况严重时，颗粒物不仅会催生高额的分子泵维修费用，还会连带损坏周边配套设备。上述两种状况均会给工厂产能带来巨大隐患。随着设备故障愈发频繁，客户不满情绪与内部管控审查同步加剧，若无法快速提供稳定可靠的整改方案，我方设备存在被竞品替换的风险。
涡轮分子泵（TMP）直接装配于工艺腔体内部，工艺副产物不断撞击叶轮叶片，易造成转子受损，进而导致晶圆或基板上颗粒物数量超标。情况严重时，颗粒物不仅会催生高额的分子泵维修费用，还会连带损坏周边配套设备。上述两种状况均会给工厂产能带来巨大隐患。随着设备故障愈发频繁，客户不满情绪与内部管控审查同步加剧，若无法快速提供稳定可靠的整改方案，我方设备存在被竞品替换的风险。
