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挑战：涡轮分子泵内的沉积物积聚和使用寿命缩短

日期：2026-08-17 19:41

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摘要：工艺化学品中富含铝和氯基化合物，导致泵内的副产物大量积聚。虽然标准目视检查显示了很少的担忧，但拆除检查显示泵的进口、出口，尤其是 Holweck 级上有大量沉积物。随着时间的推移，这些污染物不仅降低了泵送效率，而且还增加了过早故障的可能性。

工艺化学品中富含铝和氯基化合物，导致泵内的副产物大量积聚。虽然标准目视检查显示了很少的担忧，但拆除检查显示泵的进口、出口，尤其是 Holweck 级上有大量沉积物。

随着时间的推移，这些污染物不仅降低了泵送效率，而且还增加了过早故障的可能性。