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  • 产品名称：新品干式多级罗茨真空泵NXL200i

  • 产品型号：A77022320
  • 产品厂商：Edwards
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简单介绍：
Edwards NXL200i 是一款适用于 中大型无油真空系统 的高性能干式多级罗茨泵，特别适合半导体、光伏、显示面板和化工行业，具有高抽速、耐腐蚀、低维护和智能控制等优势。相较于NXL110i，它更适合更高负载、更大抽气需求的工业应用。
详情介绍：

产品特点

1. 干式无油设计

  • 采用多级罗茨结构，无需润滑油，避免油蒸气污染，满足 SEMI（半导体行业标准） 和 GMP（制药行业标准） 要求。

2. 高抽速与大抽气能力

  • 抽速范围：比 NXL110i 更高，适用于更大腔体的快速抽真空（具体数值需参考技术手册，通常在 100–200 m³/h 左右）。

  • 极限真空：可达 10⁻³ mbar（0.1 Pa），适合中高真空应用。

3. 多级罗茨结构优化

  • 采用 多级串联罗茨泵 设计，提高压缩比，增强低气压下的抽气效率。

  • 相比单级罗茨泵，在低压力下仍能保持稳定性能。

4. 耐腐蚀与长寿命

  • 关键部件采用 镍合金涂层 或 特殊防腐处理，可耐受腐蚀性气体（如 Cl₂、HF 等）。

  • 适用于半导体刻蚀工艺中的 腐蚀性气体环境。

5. 节能高效

  • 优化的转子设计降低能耗，比传统油封泵节能 。

  • 可选 变频驱动（iXM 控制器），根据负载自动调节转速，进一步降低能耗。

6. 低维护与长运行周期

  • 无油设计减少维护需求，仅需定期清洁或更换进气过滤器。

  • 轴承与密封件采用长寿命设计，降低停机时间。

7. 智能控制与集成化

  • 支持 RS485/Modbus 通信，可接入工厂自动化系统（如 PLC 控制）。

  • 可选配 Edwards 智能监控系统，实时监测泵的状态（温度、振动、负载等）。

8. 低噪音与低振动

  • 精密动平衡转子设计，运行平稳，噪音低于 65 dB(A)，适合实验室和洁净室环境。

Units nXL110i nXL200i
Peak pumping speed m3h-1 < 2 x 10-2
Ultimate Vacuum (total pressure) mbar (Torr) 7 x 10-3 (5.3 x 10-3) 7 x 10-4 (5.3 x 10-4)
Displacement (50/60hz) m3h-1 131 283
Inlet   NW 40
Outlet   NW 25
Maximum permitted outlet pressure bar gauge/psig 0.5 / 7.0
Operating temperature range Celsius 10 - 40
Nominal rotational speed rpm 9,000
Power connector 1-phase   IEC EN60320 C19
Power at ultimate kW 0.65
Power at typical application condition (2-10 mbar) kW 0.7 - 0.9
Flow at typical application condition slm 3 - 15 6 - 22
Max power during ramp up kW 1.1
Leak tightness mbar l/s 1.0 x 10-5
Weight kg 75 81
Noise (pressure) dB(a) 56.7
Vibration at inlet flange mms-1 (rms) < 2.5
订货信息：

A77022320 / A770-22-320  NW40 200-230V 50/60 Hz
A77022420 / A770-22-420  NW50 200-230V 50/60 Hz



沪公网安备 31011702004252号