产品详情
简单介绍：
NXL110I 干式多级罗茨真空泵 是一种高性能的真空泵，广泛应用于对洁净度和可靠性要求较高的工业与科研领域。
主要应用领域
半导体与电子行业
用于芯片制造、刻蚀、离子注入等工艺，避免油污染，满足高洁净度要求。
光伏与太阳能电池生产
在薄膜沉积、PVD/CVD 等工艺中提供无油真空环境。
分析仪器
配合质谱仪、电子显微镜等设备，确保无烃污染。
化工与制药
处理腐蚀性或有毒气体时，干式设计避免油液污染产品。
科研与实验室
适用于高真空实验、材料科学等需要清洁抽气的场景。
详情介绍：
产品特点
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干式无油设计
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无需润滑油，避免油蒸气污染，适合洁净敏感工艺。
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多级罗茨结构
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通过多级串联设计实现更高的压缩比和真空度（可达 10⁻³ mbar 范围）。
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高效节能
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优化转子设计减少能量损耗，运行成本低于传统油封泵。
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耐腐蚀与长寿命
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关键部件采用特殊涂层或耐腐蚀材料（如镍合金），适合处理腐蚀性气体。
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低维护需求
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无油设计省去定期换油的维护，仅需定期清洁或更换过滤器。
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紧凑与模块化
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结构紧凑，易于集成到复杂真空系统中，支持多泵并联扩展抽速。
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低振动与噪音
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精密动平衡转子设计，运行平稳，适合安静环境（如实验室）。
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| 技术数据 | |||
| Units | nXL110i | nXL200i | |
| Pumping speed (pneurop 6602) | m3h-1 | 110 | 200 |
| Ultimate vacuum (total pressure) | mbar | <2 x 10-2 | |
| Inlet flange | NW40 | ||
| Outlet flange | NW40 / NW50 | ||
| Maximum permitted outlet pressure | bar gauge/psig | 0.5 / 7.0 | |
| Operating temperature range | oC | 10 - 40 | |
| Nominal rotational speed | rpm | 9000 | |
| Power connector 1-ph | IEC EN60320 C19 | ||
| Mains voltage | V | 200 - 240 (+/- 10%) | |
| Power at typical application condition (2 - 10 mbar) | kW | 0.7 - 0.9 | |
| Flow at typical application condition | slm | 3-15 | 6-22 |
| Leak tightness | mbar ls-1 | 1.0 x 10-5 | |
| Weight | kg | 75 | 81 |
| Noise (pressure) | dB(A) | 56.7 | |
| Vibration at inlet flange | mms-1 (rms) | <2.5 | |
