在低压强范围内提供大抽速
安捷伦公司的涡旋泵产品线提供的无油真空，并可以很方便地集成到现有系统中，因而适合多种和工业应用。该泵利用简单的双涡盘结构产生真空，即一个嵌套涡壳围绕另一个旋转，产生捕集气体运动的空间。气体从周边进入涡旋泵，并被转移和压缩至中央毂，然后在中央毂处排放，从而产生低极限压力和大抽速。我们的干式涡旋泵是许多高标准应用的理想初级泵，具有耐用、、易于维护的特点。
IDP-3 的抽速为 60 升/分钟。
IDP-3特点：
无油
功能
抽速 60 升/分
高性能
的无油真空
低噪音、低振动
维护次数少、成本低
容易集成到任何系统中
安捷伦 涡旋式干泵 IDP-3
Technical Specifications
| Peak Pumping Speed (60 Hz) | 60 L/M, 3.6 M³/Hr, 2.1 Cfm |
| Peak pumping speed (50 Hz) | 50 L/m, 3.0 m³/hr, 1.8 cfm |
| Ultimate pressure | 2.5 × 10-1 torr (3.3 × 10-1 mbar, 33 Pa) |
| Maximum inlet pressure | 1 atm (0 psig) |
| Maximum outlet pressure | 1.4 atm (6.5 psig) |
| Exhaust connection | 1⁄4-in. female nat’l pipe thread (10 mm hose barb provided) |
| Exhaust connection adapter | NW16 KF adapter provided |
| Gas ballast connection | 1⁄8-in. female nat’l pipe thread |
| Ambient operating temp | 5 to 40 °C (41 to 104 °F) |
| Storage temperature | –20 to 60 °C (–4 to 140 °F) |
| Motor rating | 0.16 horsepower (0.12 kW) |
| Motor thermal protection | Automatic |
| Rotation speed | 60 Hz: 3200 RPM; 50 Hz: 2600 RPM; 24V DC: variable speed, factory setting: 3200 RPM |
| Cooling | Air-cooled |
| Weight | 9.5 kg (21 lbs) Ship: 10.5 kg (23 lbs) |
| Restrictions | No corrosive, explosive, particulate-forming gas |
| Leak rate (exhaust sealed) | <1 × 10-6 std-cc/sec helium |
| Noise level (ISO 11201) | 55 dB(A) |
| Vibration at inlet (ISO 11201) | 1.5 mm/sec |
| Compliance | CE, CSA, CSA/CUS, Semi S2-703, RoHS |
Outline Drawing
| 干泵型号 | IDP-2 | IDP-3 | SH-110 | TriScroll 300 | · TriScroll 600 |
| 抽速（l/min） | 30 | 50 | 90 | 210 | 420 |
| 极限真空(mbar) | 0.1 | 0.33 | 6.6 x 10-2 | 1.3 x 10-2 | 9.3 x 10-3 |
| 冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 |
| 体积（mm3） | 351x181x140 | 384 x 240 x 276 | 437 x340 x325 | 471 x355 x343 | |
| 重量（Kg） | 9.5 | 9.5 | 19 | 26.4 | 32 |
IDP-2、IDP-3 干泵是Agilent公司新推出的紧凑型全无油的高性能真空泵，能够适合的应用需要。IDP-2 是上的涡旋泵，用于粗真空获得应用，重量仅有9.5Kg，能够轻而易举地集成到实验、分析、生产系统当中。IDP-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mTorr（约33Pa）极限压强，使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。
干泵/干式蜗旋泵产品特点：
◆ 全无油泵，不会污染真空系统
◆ 采用独立马达与轴承的密封设计
◆ 体积小巧：351x181x140mm
◆ 与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强
◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件
◆ 低噪声，低振动
Agilent SH-110全密封干式涡旋泵具有业内的真空获得性能，结构紧凑，能够轻易地实现与现有、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60Hz电源条件下)，可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。
干泵/干式蜗旋泵性能特点：
◆ 工作状态下泵体发热低
◆ 马达功率不到200瓦，低功耗
◆ 内置出气阀门降低工作噪声
◆ 出气口位置可以动，以便更好地适应空间要求
◆ 高压区间抽速高，迅速进入真空状态
◆ 重量轻，配有把手，易于携带
◆ 内置故障保护隔离阀真空系统的
◆ 配有自动气镇阀以排空水蒸气
◆ 维护简便，只需定期更换密封圈即可
TriScroll 300干泵 是Agilent公司生产的一款用于初级真空获得的多级干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。TriScroll 300 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净真空环境。多年的实际应用证明，Agilent 独有的TriScroll 300 设计具有很高的性和耐用性，产品性能稳定，性价比突出。
干泵/干式蜗旋泵特点：
◆ 具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染
◆ 高性
◆ 具有自动气镇口
TriScroll 600干泵 是Agilent公司生产的一款用于初级真空获得的多极干式涡旋泵产品，具有出色的工作稳定性。TriScroll 600 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净环境。多年的实际应用证明,Agilent独有的TriScroll设计具有很高的性和耐用性，产品性能稳定，性价比突出。
Agilent公司利用干式涡旋真空获得为用户提供了高抽速，低极限压强的真空泵产品。干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高性以及易维护等优势，是众多应用的理想前级真空获得产品。
