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  • 产品名称:Hanbell PS602 汉钟真空泵维修 干式螺旋真空泵保养

  • 产品型号:PS602
  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
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详情介绍:
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PS80 PS160 PS250 PS602 PS902 PS1302 PS1802
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HANBELL 真空泵精修 汉钟真空泵保养

汉钟干式真空泵 包括台湾汉钟干式螺杆式真空泵

PDR系列 包括机型 汉钟真空泵 PDR100 , 汉钟真空泵 PDR602, 汉钟 真空泵 PDR1202 
PS系列     包括机型 汉钟真空泵PS80 ,汉钟真空泵PS160,汉钟真空泵 PS180,汉钟真空泵 PS602,汉钟真空泵 PS1302

台湾汉钟真空泵PS系列产品特点 螺旋真空泵浦产品特色
  
  汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子,在转子间维持微小的间隙,使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑,因而无油气回漏污染的问题。透过砖利转子线形良好的密封效果,**压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短,粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强,加上转子表面披覆特殊材质的镀膜,因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。 泵浦温度控制精准
  
  汉钟精机PS系列干式螺旋真空泵浦,承袭上一代真空泵浦优良的转子设计,同时改善壳体的冷却方式,采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度,能够更精准地控制泵浦内部温度,减少沉积物的产生,增加真空泵浦的寿命。 密封马达**性高
  
  PS系列真空泵浦亦**采用砖利设计的水冷罐装密封马达,除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外,也可完全避免制程气体外漏的风险。 微电脑控制保护周全
  
  PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器,可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低,提供真空泵浦完整的**性保护,十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求极高之产业。










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