概述
XDS100B 是滚轴增压泵，具备针对高抽速用途的泵送机械装置。与增压泵一样，它需要与主泵一同使用，适合与 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滚轴泵搭配。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时，XDS100B 针对大抽速进行了优化，因此适合吞吐量的 LCMS 应用。的泵设计使得末端密封磨损消失，也就减少了维修干预，尽可能延长正常运行时间。
变换器驱动允许泵连接到单相电源，控制着电机的特性，泵总是以优化速度运行，并使用户可以对泵进行远程控制。
滚轴泵利用相互交错的固定和轨道滚轴来产生非接触式新月形气泡，并通过轨道运行不断对其进行压缩。这意味着，与油密封旋转泵不同，在泵移动量中不需要密封剂或润滑剂
特点优势
真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz
抽速
50 或 60Hz
95 m3h-1/56 ft3min-1
极限真空（总压力）
<1 x 10-2 mbar / <8 x 10-3 Torr
大连续进气口压力
20 mbar/15 Torr
大连续压力
60 mbar / 45 Torr
短时内进气口处的大允许压力
0.5 bar 表压/7 psig
要从大气抽空的大真空腔体积
100 升
用于循环负载的大真空腔体积 – 大为每小时 6
50 升
电机功率
0.52 kW
标称转速
1750 rpm
重量
48 kg/105 lb
入口法兰
NW40
排气口法兰
NW40
噪音级别
52.1 dB(A)
振动
<4.5mms -1 (rms)
密封性（静态）
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作温度范围
10 至 40 °C/50 至 104 °F
