概述
XDS46i 泵是在 XDS35i 基础上的产品，因此两者具备相同的功能和优势，但前者的峰值泵速可达 40m3/hr。当入口压力在 1 mbar 到 10 mbar 之间时，XDS46i 针对大抽速进行了优化，因此适合需要比 XDS35i 的抽速更高抽速的 LCMS 和 ICPMS 应用。端部密封的新改进减少了端部密封的磨损，从而延长了维修干预之间的时间间隔。变换器驱动控制着电机的特性，泵总是以优化速度运行，并使用户可以对泵进行远程控制。
应用
分析仪器
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
涡轮分子前级泵
速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
旋转离心蒸发器
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
LCMS 入口
ICPMS 入口
覆层
特点及优势
真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染
无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz
排量（50 Hz 或 60 Hz）
60 m3h-1/35 ft3min-1
峰值抽速（50 Hz 或 60 Hz）
40 m3h-1/23.5 ft3min-1
极限真空（总压力）
5 x 10-2 mbar/4 x 10-2 Torr
大连续进气口压力
40 mbar/30 Torr
大连续压力
0.2 bar 表压 / 2.9 psig
允许的大进气口和 GB 压力
0.5 bar 表压/7 psig
电机功率
0.52 kW
电源连接器
IEC EN60320 C19
标称转速
1750 rpm
重量
48 kg/105 lb
入口法兰
NW40
排气口法兰
NW25
噪音级别
55.4 dB(A)
振动
<4.5mms -1 (rms)
密封性（静态）
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作温度范围
10 至 40 °C/50 至 104 °F
