概述
XDS35i 泵具有新的轴承护罩设计，可将真空环境与形式的润滑剂隔离开来，使之不仅干燥，而且密封。该屏蔽还能保护轴承免受任何制程蒸汽的影响。
气囊允许处理蒸汽，将应用范围拓展到以前许多不适用滚轴泵的情况。变频器驱动装置控制着电机特性，可泵总是以转速运转。
应用
分析仪器
电子扫描显微镜 - SEM
射束线和高能物理
涡轮分子前级泵
速离心机
覆层
低温学
脱气/硫化 - 油，环氧树脂
蒸馏/萃取/过滤
冷冻干燥
熔炉
凝胶体干燥
实验室工作台上真空
激光、气体回收和再循环
氦检漏仪
负载锁和传输腔
稀有气体再循环
稀有气体回收
冷冻制造
旋转离心蒸发器
SEM/FIB（离子束维修）
溶剂回收
表面科学仪器
特点及优势
真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可彻底的清洁和干燥真空，防止交叉污染
排量（50 Hz 或 60 Hz）
43 m3h-1/25 ft3min-1
峰值抽速（50 Hz 或 60 Hz）
35 m3h-1/21 ft3min-1
极限真空（总压力）
1 x 10-2 mbar/8 x 10-3 Torr
水蒸汽的大进气口压力
35 mbar/23 Torr
大水蒸汽抽速 – GB I
70 gh-1
大水蒸汽抽速 – GB II
240 gh-1
允许的大压力
0.2 bar 表压 / 2.9 psig
允许的大进气口和 GB 压力
0.5 bar 表压/7 psig
电机功率
0.52 kW
电源连接器
IEC EN60320 C19
标称转速
1750 rpm
重量
48 kg/105 lb
进气口法兰
NW40
排气口法兰
NW25
噪音级别
57 dB(A)
振动
<4.5mms -1 (rms)
密封性（静态）
<1 x 10-6 mbar ls-1
工作温度范围
10 至 40 °C/50 至 104 °F
无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
简单的单侧滚轴设计意味着维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
变换器驱动可使抽速稳定维持在 50/60Hz
爱德华 XDS35i 涡旋式真空泵 干式涡旋泵 涡卷泵 干式真空泵 Edwards真空泵
