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Edwards发布用于显示器和太阳能的真空锁室泵系列

全球**的**真空设备和尾气处理系统制造商及相应增值服务供应商Edwards公司宣布推出全新iXL250Q和iXL750Q干泵。新推出的干泵设备,加上已有的iXL500Q干泵,涵盖了平板显示器(flat panel display,FPD)和太阳能制造市场领域中的全系列抽空要求,包括从较小的第四代FPD制造中的真空锁室泵直到第八代或第十代FPD制造中的*大型真空锁室泵。在2012年7月10-12日于美国加利福尼亚州旧金山举办的InterSolar博览会,Edwards公司将在北厅(North Hall)的 5351号展台展出该设备,敬请参观以了解有关iXL系列的更多信息。

这些性能**的真空泵设计用于使基底产出率*大化,同时使功率、占位面积和重量降到*低。另外,在检修间隔期间无需维护。所有的真空泵均具备“绿色”工作模式,能够在待机期间以更低的功率运行,从而有很大的潜力来降低运营成本。

Edwards公司FPD干泵高级产品经理Allister Watson博士称:“把总体拥有成本降至*低是Edwards与客户共同的优先考虑事项。我们注重引导客户根据其要求来选择*高效的设备。新型iXL干泵进一步扩展了我们的产品组合,因而我们能够为客户提供效率尽可能高的方法,以*低的成本实现**化的性能。”

特定体积工艺室的抽空时间主要取决于泵在接近大气压力时的可用抽速。正如产品名称所提示,iXL250Q、iXL500Q和iXL750Q在大气压力附近提供大约250 m3/h、500 m3/h和750 m3/h的抽速。iXL250Q目标是较小的工艺室,它们用于较早一代FPD(例如第四代)制造,而iXL500Q和iXL750Q则更适合较大的工艺室,可在第八代和第十代FPD制造中使用。


EDWARDS新型真空泵

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