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岛津 SHIMADZU 磁悬浮涡轮分子泵参数
日期：2024-05-02 15:28
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摘要：
岛津磁悬浮轴承涡轮分子泵采用五轴控制磁性轴承系统，无需使用油润滑，在运转过程当中，无任何摩擦，是真正做到无油、免维护、全方位安装的涡轮分子泵。
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空冷型 | |||||
| 型号 | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- |
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203M | 303M | 403M | 803M | 1003M | 2003M |
| 排气速度L/S (N2) | 190 | 320 | 420 | 800 | 1080 | 2000 |
| 大吸气压力Pa | 1.3 | 0.23 | ||||
| 到达压力(烘烤后)Pa | 10-8Pa | 10-9Pa | ||||
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广域型 | ||||||||||
| 型号 | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- | TMP- |
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203LM | 303LM | 403LM | 803LM | 1003LM | 1303LM | 2003LM | 2203LM | 3203LM | 3403LM | 4203LM |
| 排气速度L/S (N2) | 190 | 320 | 420 | 800 | 1080 | 1300 | 2000 | 2050 | 3200 | 3300 | 4000 |
| 大吸气压力Pa | 200 | 400 | 133 | 67 | 40 | 40 | 10 | 10 | |||
| 到达压力(烘烤后)Pa | 10-8Pa | 10-9Pa | 10-8Pa | 10-6Pa | 10-9Pa | 10-8Pa | 10-7Pa | ||||
