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真空与泵浦
日期：2024-05-18 10:59
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摘要：
真空泵浦重要的性能规格为压力( Ultimate Pressure) 以及排气速度( Pumping Speed) 。压力指真空泵可抽到的低压力或称高真空( Max. Vacuum)； 排气速度则是指单位时间内泵浦进气口的容积流量大小，通常以m3/hr 或L/ min表示，而排气速度之大小会影响真空系统到达指定真空度所需要的时间。真空泵浦依真空度来区分可分为低真空泵浦、中真空泵浦、高真空泵浦)以及真空泵浦。由于气体在低真空时属黏滞流(Viscous Flow)，气体的物理行为可视为连续(Continuum) ，真空泵浦可利用机械容积变化进行吸气、压缩及排气的方式抽气；当气体于中真空环境时，气体行为变为过渡流(Transition Flow)形态，其特性较为复杂。 真空度的压力单位以托耳( Torr ) 以及压力单位，帕Pascal (Pa) 为常见定义为：标准大气1ATM=760mmHg=760Torr
