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分子泵机组前级 E2M 泵返油，污染涡轮叶片？
日期：2026-08-17 17:43
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摘要：1. 停机未先关闭前级泵防返油阀；规范操作：先关高阀，分子泵降速后再停前级泵；
2. 防返油单向阀损坏，更换阀门；加装吸附阱阻隔油蒸汽。
1. 停机未先关闭前级泵防返油阀；规范操作：先关高阀，分子泵降速后再停前级泵；
2. 防返油单向阀损坏，更换阀门；加装吸附阱阻隔油蒸汽。
