Edwards nEXT 涡轮分子泵无法启动，显示转速报警？

日期：2026-08-16 02:20

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摘要：1. 前级 E2M/XDS 泵真空不足，分子泵互锁保护，先修好前级真空； 2. 分子泵轴承磨损、转子磕碰，禁止强行启动，返厂维修； 3. 驱动电源故障、线缆接触**，更换驱动模块。

1. 前级 E2M/XDS 泵真空不足，分子泵互锁保护，先修好前级真空；

2. 分子泵轴承磨损、转子磕碰，禁止强行启动，返厂维修；

3. 驱动电源故障、线缆接触**，更换驱动模块。