Edwards EH 罗茨增压泵搭配前级泵真空上不去，抽气效率低？

日期：2026-08-15 21:16

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摘要： 1. 压差过载保护触发，前级泵抽速不足，匹配更大 E2M/GXS 前级泵； 2. 罗茨转子间隙磨损，内部回流； 3. 冷却水路堵塞，泵体过热膨胀间隙变大；疏通冷却水，检测转子间隙，超标更换转子组件。

1. 压差过载保护触发，前级泵抽速不足，匹配更大 E2M/GXS 前级泵；

2. 罗茨转子间隙磨损，内部回流；

3. 冷却水路堵塞，泵体过热膨胀间隙变大；疏通冷却水，检测转子间隙，超标更换转子组件。