标准涡轮分子泵与蚀刻中的高温涡轮泵之间的区别是什么？

日期：2026-08-17 19:44

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摘要：标准涡轮分子泵已在各类半导体真空工艺中广泛应用，但针对会产生氯化铝副产物的蚀刻工况，选用高温型分子泵更具优势。高温分子泵可*大限度抑制泵体内副产物凝结，延长保养周期，保障机台稼动率稳定。

标准涡轮分子泵已在各类半导体真空工艺中广泛应用，但针对会产生氯化铝副产物的蚀刻工况，选用高温型分子泵更具优势。高温分子泵可*大限度抑制泵体内副产物凝结，延长保养周期，保障机台稼动率稳定。