紧凑设计、极限高
安捷伦 SH-110 是业内的干式密封涡旋泵，可以方便地组装到原始设备制造商 (OEM) 系统中。这种单级泵体积小巧，抽速 110 升/分（频率 60 Hz），极限压力 50 mtorr (0.07 mbar)，是许多终用户应用的理想选择。
SH-110 泵符合欧盟 (CE)、加拿大标准协会 (CSA) 和 Semi S2-0200 的要求。
SH-110特点：
低温运行
¼-马力电机，功耗低
内置排气阀，噪音水平低
活动排气口为空间有限场合提供更大灵活性
高压下抽速高（110 升/分），可快速降压
轻便，带方便搬运的手柄
内置故障保险隔离阀为真空系统提供保护
通用的 100-230 VAC 电源方便在全范围内安装
安捷伦 涡旋式干泵 IDP-3
Agilent公司利用干式涡旋真空获得为用户提供了高抽速，低极限压强的真空泵产品。干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高性以及易维护等优势，是众多应用的理想前级真空获得产品。
| 干泵型号 | IDP-2 | IDP-3 | SH-110 | TriScroll 300 | · TriScroll 600 |
| 抽速（l/min） | 30 | 50 | 90 | 210 | 420 |
| 极限真空(mbar) | 0.1 | 0.33 | 6.6 x 10-2 | 1.3 x 10-2 | 9.3 x 10-3 |
| 冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 | 风冷 |
| 体积（mm3） | 351x181x140 | 384 x 240 x 276 | 437 x340 x325 | 471 x355 x343 | |
| 重量（Kg） | 9.5 | 9.5 | 19 | 26.4 | 32 |
IDP-2、IDP-3 干泵是Agilent公司新推出的紧凑型全无油的高性能真空泵，能够适合的应用需要。IDP-2 是上的涡旋泵，用于粗真空获得应用，重量仅有9.5Kg，能够轻而易举地集成到实验、分析、生产系统当中。IDP-3 所具有的60/升/分钟抽气速度以及 250mTorr（约33Pa）极限压强，使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。
干泵/干式蜗旋泵产品特点：
◆ 全无油泵，不会污染真空系统
◆ 采用独立马达与轴承的密封设计
◆ 体积小巧：351x181x140mm
◆ 与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强
◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件
◆ 低噪声，低振动
Agilent SH-110全密封干式涡旋泵具有业内的真空获得性能，结构紧凑，能够轻易地实现与现有、生产设备的真空系统相集成。此型号单级涡旋泵具有110升/分钟的抽速(60Hz电源条件下)，可获得50mTorr(约67Pa)的极限真空，即使单独作为粗真空获得设备也是理想的选择。SH-110涡旋泵符合CE、CSA以及Semi S2-0200等多种标准。
干泵/干式蜗旋泵性能特点：
◆ 工作状态下泵体发热低
◆ 马达功率不到200瓦，低功耗
◆ 内置出气阀门降低工作噪声
◆ 出气口位置可以动，以便更好地适应空间要求
◆ 高压区间抽速高，迅速进入真空状态
◆ 重量轻，配有把手，易于携带
◆ 内置故障保护隔离阀真空系统的
◆ 配有自动气镇阀以排空水蒸气
◆ 维护简便，只需定期更换密封圈即可
TriScroll 300干泵 是Agilent公司生产的一款用于初级真空获得的多级干式涡旋泵产品,具有出色的工作稳定性。TriScroll 300 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净真空环境。多年的实际应用证明，Agilent 独有的TriScroll 300 设计具有很高的性和耐用性，产品性能稳定，性价比突出。
干泵/干式蜗旋泵特点：
◆ 独有的TriScrollTM结构设计
◆ 具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染
◆ 高性
◆ 具有自动气镇口
TriScroll 600干泵 是Agilent公司生产的一款用于初级真空获得的多极干式涡旋泵产品，具有出色的工作稳定性。TriScroll 600 以高抽速为用户提供了具有较低极限真空的无油洁净环境。多年的实际应用证明,Agilent独有的TriScroll设计具有很高的性和耐用性，产品性能稳定，性价比突出。
