如何选择INFICON真空计
一，皮拉尼真空计
1.皮拉尼真空计原理
加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度
由于气体粒子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝的温度会发生变化
热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系
2.衍生出两种类型的皮拉尼规
1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）
2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）
3.气体的热传导，与下列提条件有关:
1，气体类型
2，压力大小
4.皮拉尼真空计测量范围与精度
测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5 x 10-4至 1000 mbar
|
精度(氮气): |
1x 10-3… 100毫巴 |
±15% |
|
|
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 |
±50% |
|
|
100 ... 1000毫巴 |
±50% |
5.皮拉尼真空计的优特点
灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命
6.皮拉尼真空计具体型号
l PSG050/051
l PSG100-S PSG101-S
l PSG500/500-S PSG502
l 皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400 PCG410 PCG550
1.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
2.两种原理的规管全过程都工作
3.100 mbar—1000 mbar 使用薄膜规信号
4. 1 mbar– 100mbar 两规信号同时采用
5.5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号
6.输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃
7.皮拉尼真空计应用行业
l 高真空泵的前级压力测量，如光伏，镀膜，等离子行业
l 中低真空测量，如照明，冶金
l 真空连锁控制，高真空计的点火开关控制，如PEG100
l PSG050可替代TR211，PSG051可替代TR216
l PCG400 PCG410(现在已为PCG550，PCG400/PCG410已经停产)与PSG500 基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上应用
l PSG100 PSG101，与PSG500/PSG050 基本相同，但因为具有通讯协议功能，在大系统中应用
二，电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/200
1. 电容薄膜规工作原理
l 压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系
l 通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
2. 电容薄膜规特点
l 以的纯陶瓷传感器室为基础构成
l 在严酷和腐蚀性环境中,稳定与的度压强测量
l 快速的预热和恢复时间,提高生产率
l 的长期稳定性,再现性和重复性
l 由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性
l 对环境条件变化的度的降低使得测量更稳定
l 快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态
l 一键按钮: 调零功能和设点调整
l 抗腐蚀纯陶瓷传感器
l 能经受数百万次压强循环周期,包括大气压 冲击,无任何降低性能的迹象
l 暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀
l 对蒸气介质不
l 的传感器屏蔽 ()延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命
3. INFICON陶瓷
l 陶瓷的性
1， 无 “记忆”效应
2， 陶瓷无疲劳问题
3， 的温度补偿
4， 的零点稳定性
l 低使用成本
1. 非凡的使用寿命
2. 无需隔离阀
4. Sky CDG025D测量范围
5. 加热型薄膜规
6. 加热型
l 零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）
l 更高的精度
l 环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响
l 比工艺更快的预热启动时间’
l 快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV
l 任意安装角度
l 抗污染，可抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
7.电容薄膜规的应用
要求高的应用条件下，而快速的压强测量
l 用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。
l 资料贮存和显示器制造设备
l 工业真空设备
l 常用度真空测量
三，热电离规
1.热电离规原理
Richardson 效应: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子
1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出
2）离子流的大小与气体压力成比例关系
2. 两种类型热电离规
3. 热电离型复合规
l HPG400
l BPG400/-SP/-SD/SR
l BPG402
l BCG450B-A规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起
l
4.及应用
l BPG
n 测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar
n 精度高，极好的重复性5%
n 灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。
n 方便的校准调节
n 注意事项：
u 对气体有选择性
u 抗污染能力弱
n 普遍应用于从低到真空的测量
n 在工业，半导体，研究行业应用
l BPG402
n 双灯丝，大大延长使用寿命
n 电离规的工作可以自定义控制
n 探头备件自带校准参数，精度与重复性
l HPG400
n 电离规与皮拉尼的复合
n 皮拉尼自锁保护电离规
n 电离规的工作启动点可以一定范围内自定义
n 简易的校准功能
n 相对便宜的价格
l BCG450
n 可调的电离规工作起点
n 的重复性
n 的大气端测量
四，冷电离规（潘宁规）
1.冷电离规原理
通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离
2.潘宁规特点与应用
l 测量范围：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
l 全金属密封
l 无灯丝
l 易清洗
l 应用于普通的高真空测量
3.冷规复合规MPG400特点与应用
l 冷规与皮拉尼规的复合
l 测量范围广： 5x10-9-1000 mbar
l 易于保养清洗
l 无高真空灯丝，
l 应用于普通高真空测量
4. 冷规及复合规性能比较
