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汉钟干式螺杆真空泵故障代码及处理方法
日期：2024-04-25 07:09
浏览次数：3267
摘要：
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訊息代號
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原 因
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處 理 方 式
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W01 螺旋泵浦高電流
A01 螺旋泵浦高電流
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消音器阻塞、廠務排氣管閥門未開，導致泵浦背壓上升
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檢查排氣管及消音器
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泵浦有異音、機體損壞
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停機檢修
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泵浦逆轉
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更換電源相序
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W02 助力泵浦高電流
A02 助力泵浦高電流
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泵浦啟動壓力過高
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檢查真空壓力開關設定值
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泵浦有異音、機體損壞
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停機檢修
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泵浦逆轉
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更換電源相序
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W03 螺旋馬達溫度高
A03 螺旋馬達溫度高
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冷卻水流量過低
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調大水流量
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水溫不適當
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調節水溫
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W04 螺旋殼體溫度高
A04 螺旋殼體溫度高
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冷卻水流量過低
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調大水流量
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水溫不適當
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調節水溫
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腔體氣體溫度、流量過高
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降低氣體量、溫度
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W05氮氣質流量過低
A05氮氣質流量過低
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管路堵塞
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停機檢修
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壓力源異常
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提供適當壓力
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管路洩漏
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檢修管路
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質流量計異常
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檢修質流量計
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W06冷卻水流量過低
A06冷卻水流量過低
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管路漏水
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檢查漏水處
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水壓過低
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提供適當水壓
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水管阻塞
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排除堵塞物
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出入口方向錯誤
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正確連接管路
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流量計異常
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更換流量計
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W07排氣口壓力過高
A07排氣口壓力過高
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泵浦消音阻塞
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檢查消音器
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廠務排氣管阻塞
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檢查排氣管路
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N2壓力過高
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降低N2入口壓力
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W08 加熱器流量過彽
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管路堵塞
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停機檢修
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壓力源異常
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提供適當壓力
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管路洩漏
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檢修管路
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質流量計異常
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檢修質流量計
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W09 螺旋泵浦需保養
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保養時數快到
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注意保養時間
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W10 助力泵浦需保養
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保養時數快到
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注意保養時間
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W11 螺旋齒輪油保養
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保養時數快到
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注意保養時間
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W12 助力齒輪油保養
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保養時數快到
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注意保養時間
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W13 螺旋低壓軸承
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保養時數快到
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注意保養時間
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W14 助力低壓軸承
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保養時數快到
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注意保養時間
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W15 消音器需保養
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保養時數快到
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注意保養時間
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W18 通訊錯誤
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人機與微控器通訊異常
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停機檢修
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W19 加熱器溫度過高
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加熱器異常
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停機檢修
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加熱器溫度感測器異常
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停機檢修
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W20 加熱器錯誤
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加熱器異常
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停機檢修
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A16螺旋馬達失效
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馬達線圈燒毀
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檢修或更換
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A17助力馬達失效
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馬達線圈燒毀
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檢修或更換
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A18 相位錯誤
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三相主電源未接妥
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接妥主電源
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欠逆相
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檢查三相電源相序
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A19 螺旋熱動電驛
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DP熱動電驛設定是否適當
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檢查設定值，復歸熱動電驛註１
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消音器阻塞、廠務排氣管閥門未開，導致泵浦背壓上升
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檢查排氣管及消音器
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泵浦有異音、機體損壞
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停機檢修
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A20 助力熱動電驛
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BP熱動電驛設定是否適當
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檢查設定值，復歸熱動電驛註１
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泵浦啟動壓力過高
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檢查真空壓力開關設定值註2
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泵浦有異音、機體損壞
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停機檢修
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A21 螺旋油位過低
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油位過低
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添加齒輪油
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A22 助力油位過低
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油位過低
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添加齒輪油
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A23 緊急開關作動
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壓下緊急開關
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復歸
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