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3种常见高真空泵(低温泵、扩散泵、分子泵)的对比
日期：2024-04-28 20:26
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摘要：
| 泵的种类 | 低温泵 | 扩散泵 | 涡轮分子泵 |
| 工作方式 |
将气体微粒冻结到一块“多孔性材料”上， 从而捕获气体微粒 |
用快速流动的油捕获气体微粒，并 将它们导出真空室 |
用高速旋转的叶片产生强力气流，从 而将气体微粒导出腔室 |
| 应用 |
尤其适合于半导体及平面显示器的应用 仅用于太阳能电池工艺 |
适合于大多数应用，但半导体除外 建议不要用于反应式镀膜 |
适合于大多数应用 |
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适合于移动速度快的小原子，例如： 氦气、氢气和水蒸气 多种安装方式，允许任何方向 |
度高 适用于较大的空间 |
良好的抽气特性 无需维护 多种安装方式，允许任何方向 无污染源 |
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| 缺点 |
需要 抽气速度不稳定 气流较大时效果不理想 |
可能造成污染（油气） 只能直立安装 建议不要用于活性气体，存在爆炸危险 |
高压（排气）可能造成损坏 |
