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莱宝真空泵半导体及原理介绍
日期：2024-04-24 22:52
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摘要：
莱宝真空泵SOGEVAC系列是单极油封式旋片泵。泵本身带有防返油阀、气镇阀（选配）、过滤器、回油线路和和油冷却回路。泵由直联法兰电机驱动。
安装在泵体中的偏心转子）有三块叶片，它们把泵分成三个隔室，每个隔室的容积随转子的旋转周期性的变化。
当转子旋转时，抽空腔的进气部分容积扩大，将气体从进气口吸入，气体经过空气滤芯，打开的防返油阀进入腔泵。当转子进一步旋转，叶片从吸入口将泵腔部分分开。这部分泵腔容积减少，气体被压缩。气体在略高于大气压时经过排气阀从泵腔排出。
油在注入泵腔起密封、润滑和泵冷却的作用。压缩气体夹带的油在油箱内由于折转而被初步捕集。而后在油雾分离器中被彻底过滤。于是，排气中油含量下降至低于可见程度。
注：SOGEVAC系列泵不能抽空侵蚀性、腐蚀性、易燃或易爆气体。
半导体行业正持续迅速的发展着，为能满足客户对产品和工艺快速不断变化的需求，我们与客户之间的沟通从未象今天这样如此重要。
真空设备在半导体生产过程中着极为重要的作用，针对的生产要求必须选择适合的真空设备。
过去的几年里，为满足半导体行业需求，我们缩短产品周期，更加迅速的推出新的产品，大大提高了我们的服务质量。
